44 / 45 반도체 장비 실습장치 웨이퍼 저장 캐리어 1 7 2 6 3 5 4 공압 웨이퍼 Robot 플라즈마 모듈로 이송 MFC, RF 제너레이터의 파라미터의 설정에 의한 플라즈마 발생 실습 시나리오 공압 웨이퍼 Robot 웨이퍼 저장 캐리어 진공펌프에 의한 진공상태 터치패널에서 각각의 모듈 MANU/AUTO 제어 가능 칠러 모듈에 의해 공조 냉동 실습이 가능 반도체 유지 보수 장비의 내부 전장과 보조 전장 모듈을 연결하여 프로그래밍 실습이 가능
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