40 / 41 반도체 반도체 기술 산업의 디지털 전환에 시작은 반도체기술의 발전과 함께 했습니다. 반도체 기술은 국내 뿐 아니라 전 세 계적으로 경쟁이 치열해지고 있는 가운데 반도체 장 비 분야의 핵심 기술요소인 반도체 장비 제어/유지 보수에 더 많은 관심과 전문인력 양성을 위한 요소기 술 및 프로그래밍 엔지니어를 요구하고 있습니다. 반도체 전 공정 장비를 Desktop 형태로 제작하여 1인 1실습이 가능할 수 있도록 각 공정의 운영 레시피를 입력하여 제어 프로그래밍 후 실습장치에서 구동합니다. 전 공정 실습장치 구성요소 EFEM: Lamp 및 웨이퍼 RB(DC 모터) Load lock: 진공 상태 Lamp 표시 TM Robot: Step Motor 로 제어 PM: 각 챔버는 디스플레이 및 가변제어 Chamber door: 공압실린더 개폐 OP BOX: PB 버튼 및 조작 버튼 OP Lamp: 공정 운전표시 EPC: Embedded PC 내장 운영 S/W 및 모니터링 S/W 제공 Training KIT 실제 장비 3D 모델링
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